科技动态
总院建成国内首条光刻用石英玻璃基板成套生产线
来源：中国建筑材料科学研究总院 发布时间：2016-06-08基于光刻用石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）绿色制造技术，中国建筑材料科学研究总院（以下简称z6com尊龙凯时总院）石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线，该生产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。
该生产线的建立，是z6com尊龙凯时总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。
石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而，受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约，我国石英玻璃基板长期依赖进口。
作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，z6com尊龙凯时总院石英院依托浙江衢州高新园区的化工资源，形成了循环经济产业链，建立了高性能石英玻璃研发基地，并成立中建材衢州金格兰石英有限公司。经科研人员不懈努力，形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线，不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题，同时实现了原材料绿色制造；引入多刀切割、安全快速磨抛工艺，创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材料制造到产品加工，石英院形成专利20余项，行业标准、国军标及国家标准10余项，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，不仅逐步替代进口，实现了集成电路等用高性能石英玻璃关键材料及制品的国产化，而且出口欧洲、日本等国。
衢州石英玻璃光掩膜基板和晶圆生产基地-抛光车间
石英玻璃光掩模基板
石英玻璃晶圆
